文件名称:
150 mm口径SiC双曲面的检测和对准方法研究
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文件大小: 3mb
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上传时间: 2021-02-05
详细说明：为了实现口径150 mm凸双曲面SiC反射镜的面形检测，分别设计了传统的Hindle球检测、Simpson Hindle式检测和非球面样板法检测。经过检测精度、公差等方面的比较，选取了检测精度高、公差宽松、支撑结构简单的Hindle球检测方案。经过研磨、抛光等加工过程，目前面形精度达到0.023λ(均方根值)。在检测光路的对准和几何量测量方案中，提出采用干涉仪和激光跟踪仪相结合的方法，利用干涉仪对靶标球球面干涉检测对准，分别测量得到干涉仪出射光会聚点和Hindle球心的空间坐标，这两点对应着被检测凸双曲面的两个几何焦点，进一步计算得到被检双曲面的几何参数。误差分析表明，采用这种方法顶点曲率半径
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