文件名称:
迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析
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文件大小: 2mb
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上传时间: 2021-02-04
详细说明：从迈克耳孙干涉仪干涉原理出发，分析了圆形镜面抛光面形误差对干涉调制度的影响。由于存在镜面面形误差，干涉调制度不能达到理想情况下的100%，但其干涉调制度不能低于理想情况下的90%。通过分析和讨论，镜面面形误差最好控制在λ/14 以内，干涉调制度才可能不低于90%，这样干涉仪才能保持比较满意的性能。同时，使用Zygo干涉仪对5组平面镜的平面度进行了测量，得到了这5组平面镜的峰-峰值和其他一些参数，通过分析测量结果，这5组平面镜的平面度都能达到干涉调制度的要求。通过对迈克耳孙干涉仪中平面镜面形误差的研究，这对于干涉光谱仪的设计、研制和性能的分析都具有一定的指导意义。
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