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上传时间: 2021-02-04
详细说明：为了实现滑块内滚道型面精度的快速准确测量, 提出一种基于激光三角位移传感器倾斜测量的方法。对该方法的算法进行推理与验证, 同时借助高精度圆棒进行实验验证。根据测量系统的特征与滑块内滚道的形状, 建立相对应的模型。设计相应的算法, 计算滑块内滚道的半径, 并对测量过程中的误差来源进行标定补偿。在内滚道轮廓算法的基础上, 计算滑块内滚道的轴线相对基准面的位置与平行度。介绍该方案的验证性实验并分析结果。实验结果表明：标准圆棒的测量精度为3.75 μm, 标准差在2 μm以内。实验结果满足5 μm的测量精度要求, 且该测量方式对标定件与待测件没有位姿要求, 具备一定的推广性。
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