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Toward mid-infrared nonlinear optics applications of silicon carbide microdisks engineered by lateral under-etching [Inv
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上传时间: 2021-01-27
详细说明：We report the fabrication and characterization of silicon carbide microdisks on top of silicon pillars suited for applications from near- to mid-infrared. We probe 10 μm diameter disks with different under-etching depths, from 4 μm down to 1.4 μm, fabricated by isotropic plasma etching and extract q
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