文件名称:
槽栅型微结构用于红外色差校正的仿真与实验
开发工具:
文件大小: 8mb
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上传时间: 2021-01-27
详细说明：针对传统光学元件在红外波段色差校正方面存在系统结构复杂、光能损失严重、质量大等问题，以红外波段4.8 μm和10.6 μm存在的色差为例，将槽栅型表面微结构用于红外波段的色差校正；根据广义斯涅尔定律及时域有限差分(FDTD)理论计算微结构表面的相位分布，采用FDTD Solution软件仿真双方柱槽栅型微结构；设计两个槽栅型微结构宽度L1=400 nm、L2=950 nm，槽栅高度K=500 nm；采用离心式涂胶法、电子束光刻、离子刻蚀等一系列工艺技术，制备双方柱槽栅型微结构样品，分析胶膜厚度、曝光图像质量、刻蚀槽型的影响因素。结果表明：改变L1和L2的大小可实现在4.8 μm和10.6 μm
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