文件名称:
基于AlN的MEMS变形镜仿真及驱动性能研究
开发工具:
文件大小: 9mb
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上传时间: 2021-01-27
详细说明：设计了一种基于氮化铝(AlN)材料的压电连续面型变形镜，采用理论分析和COMSOL仿真对该AlN MEMS变形镜的结构进行了优化，拟合了前14项Zernike多项式 ，对其驱动性能特别是像差矫正能力进行了系统研究。研究结果表明，该变形镜表现出与COMSOL工艺相兼容、制备工艺简单且环保的特点，具有线性控制、大形变量的优势，满足一般自适应光学系统的要求。
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