文件名称:
自重变形对超高精度Fizeau干涉仪的光学性能影响
开发工具:
文件大小: 3mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-01-26
详细说明：为实现λ/100峰谷值(PV)的光刻投影物镜面形检测精度要求，深入分析了自重变形对大口径超高精度Fizeau干涉仪的光学性能产生的影响。设计的球面标准具结构，其系统波像差达到λ/1000(PV)、像方数值孔径（NA）值为0.36，用于口径超过300 mm的球面镜面形检测。使用Patran/Nastran软件通过有限元方法（FEM）对标准具镜组中一块镜子在胶结辅助支撑和压圈切向支撑两种支撑方式下的自重变形进行分析的基础上，得出在假定载荷作用下各光学元件表面的变形量及刚体位移量。利用泽尼克多项式将变形量大小进行拟合，得到镜子的波像差大小，完成光机转换，分析得到适合的支撑方式。将此支撑方式运用到整个
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
