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文件名称: 半导体清洗方法:湿法清洗,RCA清洗法,稀释化学法,IMEC清洗法,单晶片清洗,干法清洗分析(1月25).doc
  所属分类: 制造
  开发工具:
  文件大小: 31kb
  下载次数: 0
  上传时间: 2021-01-25
  提 供 者: jfkj****
 详细说明:半导体IC制程主要以20世纪50年代以后发明的四项基础工艺(离子注入、扩散、外延生长及光刻)为基础逐渐发展起来,由于集成电路内各元件及连线相当微细,因此制造过程中,如果遭到尘粒、金属的污染,很容易造成晶片内电路功能的损坏,形成短路或断路等,导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。
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