文件名称:
B2900A在半导体激光器测试中的应用
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文件大小: 136kb
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上传时间: 2021-01-20
详细说明：半导体激光器是光纤通讯，激光显示，气体探测等领域中的部件，受到全世界科技人员的广泛关注。在半导体激光器的生产、研发过程中，对激光器的光电特性的测量尤为重要，是控制激光器制备工艺的稳定性，激光器性能可靠性的关键环节。
半导体激光器是半导体光电转换器件。如图1所示，半导体激光器由多层材料构成。自下而上包括背电极，衬底，下光限制层，下波导层，有源层，上波导层，上限制层，上电极。不同层由不同的外延材料组成。如此层状结构是为了达到1）载流子（电子，空穴）的注入复合发光，2）光子横向限制，形成光波导的目的。外延完成的层状结构要经过刻蚀工艺，形成脊波导，在脊波导上制备接触电极。如此脊波导的目的是1）限
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