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使用4215-CVU 电容电压单元进行fF飞法电容测量
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文件大小: 114kb
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上传时间: 2021-01-20
详细说明：半导体电容一般是皮法 （pF） 级或纳法（nF） 级。许多商用 LCR 或电容表可以使用适当的测量技术测量这些值，包括补偿技术。但是，某些应用要求飞法 （fF） 或 1e-15级的非常灵敏的电容测量，包括测量金属到金属电容、晶圆上的互连电容、MEMS器件如开关、或者纳米器件上端子间的电容。如果没有使用适当的仪器和测量技术，我们很难测量这些非常小的电容。 通过使用工具，如选配4215-CVU电容电压单元（CVU）的Keithley 4200A-SCS参数分析仪，用户可以测量各种电容，包括《1 pF的超低电容值。CVU设计有独特的电路，通过 Clarius+ 软件进行控制，支持多种特性和诊断工具
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