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上传时间: 2021-01-20
详细说明：摘 要: 介绍了一种对ST-103A 型手动探针测试台进行自动化改造的设计方案。在原设备的基础上， 引进步进电机代替原来的手轮控制；其次， 还引进了摄像头和视频采集卡技术实现对探针台的实时监控；另外， 通过VC + + 编写上位机友好界面既提高了控制精度， 又使得控制更为方便。经测试， 改造后的探针测试台能实现高精度的全自动化控制。
ST-103A型手动探针测试台是一种半导体制作工艺的中间测试设备， 是中国电子科技集团公司第四十五研究所研制生产的。主要由工作台、显微镜、测试探头、打点器和电源等组成。工作台是探针台的主体， 由承片台、台板和X、Y、Z移动平台等部分组成。
但是由于S
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