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上传时间: 2021-01-20
详细说明：摘要：为了在压电陶瓷执行器微动控制中获得高精度的同时，实现高响应速度，采用三阶轨迹规划方法设计控制算法。为了对控制算法的性能做出准确评价，采用xPC Target实时内核技术，以高速模拟信号采集卡作为控制/反馈信号的I/O通道，搭建了半实物仿真平台，获得了毫秒量级的伺服周期。
0 引言
由于压电陶瓷执行器（Piezoelectric Actuator,PZT）具有定位精度高、带宽大、响应时间快等优点，所以被广泛地应用于如超精密加工、半导体光刻等领域的精密定位系统中。但是随着工业化生产对产率要求的不断提高，在满足定位精度要求的同时，对定位速度提出了越来越严格的要求。如何实现快速而的定
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