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压电式移相器及其在全息干涉计量术中的应用
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上传时间: 2021-01-20
详细说明：压电式移相器及其在全息干涉计量术中的应用，让我们共同了解一下。1、压电式移相器移相器是移相干涉仪中非常重要的部件，压电式移相器由于分辨率高、响应速度快、易于控制、性能稳定，因此被广泛使用。但压电陶瓷也有它的缺点，即它的非线性误差以及较小的位移量，这是影响它应用范围扩大的原因。针对这个问题，哈尔滨芯明天科技有限公司通过采用放大特性的柔性铰链式结构，设计研制压电陶瓷（PZT）电压驱动电路来驱动相移执行机构以达到移相的目的。再结合光学器件、下位机编程、以及在软件开发平台上编写数据处理程序，研制了一套移相控制测量装置。为了有效解决PZT非线性、蠕变特性、迟滞特性对移相精度的影响，该装置采用了电压-位移
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