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上传时间: 2021-01-19
详细说明：3 静电防护
净化间静电防护应遵守以下基本原则：
（1）防止静电荷积聚；（2）建立安全的静电泄放通路；（3）采取有效的静电监控设备进行系统静电监控.
3.1 良好的接地系统
接地是指把金属导体与大地连接，使它和大地等电势，静电接地的目的是增快静电泄漏和导流，使带电物体的静电荷得以顺利释放，以避免静电积聚.净化间内，为了防止静电串扰，带来额外静电危害，应设置多路接地，如防静电接地.交流工作接地.直流工作接地.防雷接地.屏蔽接地等，这些接地共用一个接地体，接地体由三处埋入地下2 m的角铁组成，为保证接地效果良好，接地电阻应小于4 Ω.
为了消除净化间静电防护死角，防静
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