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上传时间: 2021-01-19
详细说明：对于精度要求较高，而又无法通过巧妙的结构安排使误差得到补偿的场合，可以采取误差自动校正措施。第3章中介绍的自动调焦技术实际上就是误差自动校正的范例。现再举一例，在大规模集成电路的制版、光刻、掩模检查以及光盘技术中，都要求达到0.1 gm量级甚至更高的调焦精度。这单靠提高工艺要求和环境条件是不明智的，而且往往还做不到。实践证明，一种解决办法就是对离焦误差进行自动校正。
例1 图1是应用在光盘技术中的一种自动调焦方案。它采用了像散法离焦探测原理。激光束经过半透半反射镜P折向物镜L，聚焦于光盘表面后返回，通过L，、P和L；，本应成像于L，的后焦面上，然而由于在光路中插入了一块柱面镜，成像光点产
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