文件名称:
DScreen研制出晶圆端面的高蚀刻清洗技术
开发工具:
文件大小: 51kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-01-19
详细说明：据报道，日本DAINIPPON SCREEN MFG的半导体设备公司开发出了高精度清除附着于晶圆斜面（端面及其邻接倾斜部分）的金属膜的蚀刻清洗技术“Bevel Etching Chamber（BEC）”。通过采用新的晶圆夹紧装置和处理方法等，改进了斜面部分的蚀刻工艺。
通过提高晶圆定位的度，可以在距离端面1～3mm的范围内以0.1mm单位控制蚀刻宽度。由于蚀刻的宽度便于更改，因此还能够灵活应对规格所容许的晶圆直径偏差。同时，通过进一步追求晶圆处理的均匀性，可提高每片晶圆的生产效率以及蚀刻工序的成品率。
DScreen简介：
DScreen制造株式会社从事制造及销售电子设备和
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