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基于树模型的虚拟测量算法在半导体制造中的应用
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上传时间: 2021-01-12
详细说明：半导体制造是一个大批量多阶段生产的系统，工艺技术复杂、工序步骤繁多，稍有不慎就可能使晶圆的表面和内部产生缺陷，从而影响生产的质量和效率。将半导体制造业和互联网技术相结合，可以提高生产制造的效率和质量，降低成本和损耗。本文将进行数据采集和预处理，从数据中选择并提取出重要特征，并使用树模型中随机森林和梯度提升树两种算法来实现W plug中对电阻率的虚拟测量。实验结果表明，本文提出的方法与传统算法相比，测量误差减少近50%，能够准确预测出生产过程中电阻率变化的趋势，捕获到异常点；在实际的生产环境之中可以及时的给生产线上报警。
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