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上传时间: 2021-03-28
详细说明：电感式微动开关是传感器和执行器的集成装置，广泛应用于全光网络通信中。 其与“无法关闭”和“瞬态关闭”有关的故障导致可靠性低和抗干扰能力弱。 提出了一种基于微机电系统（MEMS）技术的新型双稳态电感式微动开关。 正弦粗糙表面模型用于描述粗糙粘合表面的随机分布。 详细分析了微型卡西米尔号和范德华力（vdW）。 vdW力包括排斥力。 动态仿真结果显示与实验结果一致。
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