文件名称:
1064nm和355nm激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究
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上传时间: 2015-07-08
详细说明： 为了研究不同纳秒激光工艺参量( 波长 、 能量密度 、 扫描速率) 以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量( 包 括刻蚀深度及加工面粗糙度) 的影响，采用 50W 的 1064nm 红外光纤激光器和 10W 的 355nm 紫外固体激光器对覆 铜板进行了对比刻蚀实验 。 通过分析红外 、 紫外激光刻蚀覆铜板材料的作用机理并对比实验结果得知，采用 1064nm 红外光纤激光作为激光光源时，设置合适的刻蚀参量，能在完全去除铜箔层的条件下，最大限度地保证环 氧树脂基底的完整性; 而采用 355nm 的紫外激光作为激光光源时，因环氧树脂材料对紫外波段激光的高吸收率，以 及紫外激光对有机材料的光化学作用，基底材料的损伤难以避免，此外，红外光纤激光具有较高的刻蚀效率 。 结果 表明，综合光纤激光器高稳定性和高集成度的特点，若激光直接刻蚀技术被用于大规模覆铜板的工业加工中，红外 光纤激光将更具优势性 。
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