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上传时间: 2018-03-15
详细说明： 基于电感膜片矩形波导滤波器设计方法和加工流程，设计了一个 220 GHz 带通滤波 器。滤波器采用玻璃片—硅片—陶瓷片结构，由硅片形成电感膜片结构，玻璃片、陶瓷片键合在硅 片上形成闭合的谐振腔，采用集成电路的制作工艺，在加工前分析了工艺特性，优化了滤波器尺 寸，避免工艺对滤波器关键尺寸的影响。采用信号源、功率计进行测试，测试结果表明，滤波器 在 220 GHz 具有通带特性，带内损耗约为 7 dB。
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