文件名称:
结构光照明并行物方差动快速测量方法研究.pdf
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上传时间: 2019-09-20
详细说明： 结构光照明并行物方差动快速测量方法研究.pdf,激光扫描差动共聚焦显微测量方法具有纳米量级的轴向测量精度，然而信号在离焦位置获取，横向分辨率较低，而且使用激光逐点扫描方式，测量速度慢；基于空间光相位调制的结构光照明显微成像方法，可以实现超分辨率成像，但不具备高的轴向测量精度，因此这两种方法都不能满足微纳加工过程中复杂物体微观表面形貌在线、在位测量的要求。将空间光相位调制结构光照明显微成像技术与差动轴向测量方法结合，提出基于结构光照明的并行物方差动快速测量方法。该方法只需要使用一台面阵相机做探测器，在结构光照明相位调制模式下，获取样品在焦前和焦后位置的相位图像并分别合成对应的焦前及焦后高分辨率图像IA和IB，对两幅图像进行求差而建立差动信号ID，再根据预先刻度好 的差动曲线就可以得出被测样品在各个位置的表面高度。使用该方法对500 nm步高、10 μm周期的标准样品进行测量，标准差为2.8 nm，相对误差为0.6%，完成一幅包含2 048×2 048个位置的表面形貌测量耗时65 ms。测量实验结果表明，该方法可以进行快速、在线纳米量级高精度轴向测量，可以实现15/s次三维形貌纳米量级精度测量。
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