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下载次数: 0
上传时间: 2020-04-07
详细说明：本人课程做的一个PPT，如有需要，自行 下载。
主要内容:
光波导的制备通常需要两个过程：
①光波导薄膜：制作技术主要包括原子掺杂技术，淀积技术，外延生长技术和电光技术。
②光路几何图形的微细加工：技术主要包括化学腐蚀法刻蚀和离子束刻蚀。进行刻蚀的目的：一是规定光的传输方向，让光在通道上有效通过，二是在规定的通道上加工制作不同光波导器件以便对光信号进行调制、分束、开关和探测。
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