文件名称:
Suppression of higher-order harmonics by a glass capillary array in 5-43nm
开发工具:
文件大小: 292kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-03-10
详细说明：玻璃毛细管阵列对5-43nm高次谐波的抑制，蒋新亭，，利用光谱辐射标准和计量光束线（U27）的球面光栅单色器（SGM）分支产生的极紫外（EUV）和软X射线、Si3N4/Mo/Si/Mo/Si多层膜滤片（100/50/150/1
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