文件名称:
微波等离子体化学气相沉积法制备图形化碳纳米管阵列
开发工具:
文件大小: 695kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-03-10
详细说明：微波等离子体化学气相沉积法制备图形化碳纳米管阵列，赵约瑟，曾葆青，应用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）在含有图案化的Ni催化剂薄膜上选择性的沉积了定向有序碳纳米管阵列。甲烷（CH4）和氢气（H2
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