文件名称:
Application, Theory and Process of Glancing Angle Deposition
开发工具:
文件大小: 485kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-02-25
详细说明：掠角沉积技术的应用、理论及工艺方法，曹永智，吴超，薄膜技术有着悠久的历史。随着纳米技术的不断发展，纳米结构薄膜再次成为研究热点。近些年来，作为构筑纳米结构薄膜的有效方法，
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