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上传时间: 2020-02-23
详细说明：掺硼非晶硅薄膜性能研究，朱魁鹏，吴志明，用等离子体增强化学气相沉积法制备了掺硼氢化非晶硅薄膜材料,对薄膜的电阻率和均匀性进行了研究.结果表明,掺硼a-Si:H薄膜的电阻率随
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