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不同a-C单层厚度对a-C/a-C:Ti纳米多层复合薄膜机械性能及摩擦性能的影响
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上传时间: 2020-01-30
详细说明：不同a-C单层厚度对a-C/a-C:Ti纳米多层复合薄膜机械性能及摩擦性能的影响，蔡建宾，王秀丽，采用闭合场非平衡磁控溅射方法在医用钛合金基底上制备不同a-C单层厚度的a-C/a-C:Ti纳米多层复合薄膜，控制a-C膜层与a-C:Ti膜层厚度的比�
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