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上传时间: 2020-01-09
详细说明：单晶硅纳米刻划加工的试验研究，张俊杰，姜雨琦，本文采用MTS Indenter XP和圆锥探针对具有(010)、(110)和(111)三种不同晶体取向的单晶硅进行了纳米压痕和纳米刻划试验，研究了材料微观变形
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