文件名称:
氮化硅薄膜力学性能的纳米压痕测试与分析
开发工具:
文件大小: 258kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-01-08
详细说明：氮化硅薄膜力学性能的纳米压痕测试与分析，张良昌，许向东，纳米压入法在薄膜材料力学性能测试领域中有着广泛的应用。本文利用纳米压入技术对PECVD氮化硅（SiNx）薄膜的力学性能进行了测量与分
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