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热丝化学气相沉积（HWCVD）中热丝直径对非晶硅薄膜沉积的影响
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文件大小: 194kb
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上传时间: 2019-12-29
详细说明：热丝化学气相沉积（HWCVD）中热丝直径对非晶硅薄膜沉积的影响，孟翔宇，刘艳红，利用热丝化学气相沉积法，采用0.2mm与0.3mm两种直径的钨丝，通过对氢气稀释的乙硼烷与硅烷的分解，在玻璃衬底上沉积硼掺杂氢化非晶�
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