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Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档.pdf
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上传时间: 2019-10-12
详细说明:Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档pdf,Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档XL系统组件
该新型系统的基础组件是一个轻型激光头(XL-80
和一个独立的补偿单元系统(XC-80
测量光学镜组
XL-80
USB
温度传感器
USB
XC-80
XL-80激光系统
XL-80激光系统可以产生极其稳定的激光
光束,采用的波长可溯源至国家和国际标准
激光稳频精度为1年内±0.05ppm,1小时内
ⅩL80和XC80可经由USB直接与计算机连接,无
0.02ppm。这种优异的性能是通过动态热控制技术
需单独的接口。激光系统的标准配置还具有一个辅助
将激光管长度变化控制在纳米范围内而完成的。
模拟信号输岀,正交输出为工厂设定选项。该插槽还
可以接收触发信号输入,用于数据同步采集。
在整个环境范围内,即0-40°C(32-104°F)
及650-1150mbar,保证±0.5ppm的线性测量精
激光头前部的LED犬态指示灯显示激光状态和光
度。读数以50kHz频率读取,最高线性测量速度可达强,相当于将软件上的“状态显示”复制到激光头
4ms,即使在最高速度下线性分辩率仍可达1nm。
上,用户可以参考这些LED状态指示灯,也可以参考
软件显示。加上可切换的长距离模式(40m-80m)
由于XL系统的所有测量项目(不仅仅是线性测和不到6分钟的预热时间,使得Ⅹ-80的使用快捷方
量)均采用激光干涉原理,您可以充分信赖所有的测便
量精度。
外接开关电源允许输入电压在90-264V之间变动。
XL系统组件
XC80补偿单元和传感器
XC-80补偿单元是XL系统测量精度的一个关键因
与ⅩL-80激光系统一样,补偿单元通过一个USB端
素。补偿单元具有一个处理源读数的“智能型传感口直接连接到计算机上,XC补偿单元由USB端口直接
器”,可非常准确地测量空气温度、空气压力和相对供电(无需单独的电源)。
湿度
C-80仅重490g,加上XL-80也只有3kg多
点(包括连接电缆、ⅩL电源和传感器)
空气和材料温度传感器均为¨智能型
内置微处坦器分析并处埋传感器的输出,再将
温度数值传输给ⅩC-80补偿单元。这使测量更
安全,也是XC-80如此轻便小巧的关键原因
也可以将最多三个材料温度传感器
连接在ⅩC·80补偿单元上,将线性测量
值归一化为材料温度为20°C的标准值
传感器电缆长5m.可拔出,更换方便。在较长机
器上测量时,可用螺旋接头将多条电缆接在一起而加
长
RENSHA
然后,系统会修正激光波长的标称值,得到一个
真实值用于计算,使因这些变化导致的任何测量误差
4U0270
实际上都得以消除。如XC-80装置的LED状态灯所指
示,每7秒钟完成一个传感器数据的采集或更新。
每个传感器在两次读数之间均暂时“关闭”,以减
XC-80和传感器的设计确保在整个工作条件范围
少热量消散;在ⅩC-80设计上的典型特征包括气压传
内,这些装置都具有极精确的读数。这些装置非常坚
感器随温度和气压变化对其所进行的拟合
固,能够承受日常的搬动。
XL系统组件
三脚架和云台
除非您使用的是专用的测量台,否则您可能需
要一个三脚架和云台用于调节激光相对于待测轴的
位置。新型通月三脚架已经过广泛的测试,具有稳
定的可调基座,而且结构小巧、轻便
XL三脚架云台在设计上老虑到了XL-80激光装
置的精确角度旋转及平移,可以一直固定在激光头
上,易于存放和快速架设。
由于设计周密,XL-80激光系统和光学镜组还可直
接放置在花岗岩工作台上(无需三脚架云台)进行坐标
测量机(CMM)的校准。
三脚架和三脚架便携箱合在一起仅重6.2kg
与激光系统其他组件的便携性很相配。
XL三脚栾云台在设计上老虑到了XL-80激光装
置的精确角度旋转及平移,可以一直固定在激光头
上,易于存放和快速架设。
5
专用软件包更突出了
XL系统性能及系统的优点
软件包
准得到的误差补偿值直接传送至数控机床。这能够明
显提高机器的定位精度。我们提供当今许多数控系统
功能强大的软件及内的补偿软件
容清楚而全面的帮助文件
HENESHAW
是XL-80系统潜能得以发
上
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挥的关键
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回契◆4图当厂上且上量
199.9970
8+°四
Quick view XLTM软件能实时显示线性位移
速度和加速度分析的激光测量数据。它是一种理想的
研发工具,囚为该软件能够快速、容易地对运动系统
进行即时检查、评估及特征措述。
aL RENISHAWE
这两个软件包均只与 WindOws XP(SP2)和
Vista⑧操作系统兼容
LaserⅩLTM软件包括线性、角度、回转轴、
面度、直线度和垂直度测量模块以及动态测量功能
正确的计算机规格对于系统性能极为重要。请与
(见下文)。用户可为 LaserⅩLTM
Renishaw联络获取最新信息
Quick ViewⅩLM和系统手册选择英文/中文或其他多种
支持组件
主要语言的任何一种
系统手册以CD的形式随每个激光系统提供。说
标准的分析报告选项符合机器性能检测的众多国明书包含每个测量功能的文字说明和图解设定步骤
际标准,例如O、ASME、VD、S和GB,并包括校准技巧及分析信息。可安装在计算机上并使用软件
内容全面的 Renishaw分析。
的“帮助”按钿直四
接进入或作为独立
动态测量功能允许以10Hz至50kHz的采样频率的参老文献使月。
(具有12个默认值)采集数据并提供位移、速度和加
速度数据。甚至还有一个内置FFT软件包用于频谱分
可免费提供额
析
外的CD
配上线性误差补偿软件包,可以将 LaserXLtm校
系统优点
性能
±0.5ppm线性测量精度已在整个环境工作条件范围内
得到认证(见“系统性能”表,第11页)
1 nm
线性分辨率(甚至在最高速度下)
4 m/s
最高移动速度
7s
每7秒自动更新环境补偿
50 kHZ
动态采集频率
80m
线性测量距离为标准设定
如果没有可靠准确的波长补偿
很容易导致20ppm-30ppm的误差
ⅩC-80补偿系统和传感器能够在整个系统工作范
性能规格按照国际程序对照引证的系统误差预
围内保持精度。因此,在0-40°C(32-104)及整
算进行认证,指定的系统精度达到95%(k=2)的置
个气压范围内,可以保持±0.5ppm的线性测量精度
信度,并且此精度在整个环境工作范目内有效(参
(参阅下列与同行系统的图形比较)
阅¨主要规格”,第11页}。
标准材料温度的精度
系统精度
Q
0510152025303540
510
环境温度(°C
环境温度(°C)
Renishaw线性测量精度
同行的线性测量精度
(材料膨胀系数10ppm/"C
系统优点
使用方便
XL-80使用方便,设定快捷,减少了用户的等待时·减少了部件和连接装置。激光系统和补偿单元通过
间,增加了可利用的测量时间:
USB连接至计算机:无需单独的接口和复杂的设定
·预热时间短(少于6分钟)
XC-80补偿单元通过USB连接供电,囚此不需要外部电
·激光系统与云合设计为可一起存放
源
·云台可从三脚架上快速地拆卸
灵活性和操作简便性
可以在标准(40m)和长(80m)距离模式之间
切换
模拟ⅣO端口允许模拟和正交信号输出(工厂指定
Serial No H37837
选项)及触发信号输入。
CALIBRATION
易于读取的状态及信号强度LED指示灯
·以标准或无线鼠标触发远程手动数据采集。
便携性和操作便捷性
ⅩL-80激光系统和XC-80补偿单元体积很小
整个系统(除去三脚架)现在可以装入一个真正便
携的¨便携箱”中。整个线性系统装在便携箱中后
基本系统便携箱(左)
总共仅重12kg左右。即使加上可选购的角度光学镜
完整系统便携箱(右)
组、附件和一个 Renishaw QC10球杆仪组件(参阅
第10页),系统总重也只有16kg多一点,如此便携
的“检测和校准”系统,令其他产品无法相媲美。
基本系统便携箱可容纳
整个线性和角度系统
系统的“便携箱”和额外的
三脚架便携箱十分轻便
全面信心
优质的设计、制造和技术支持是 Renishaw的标
志性特征。不管测量的是微米还是纳米,这些都极
为重要。
设计
Renishaw公司的激光设计及生产操作得到
系统根据激光和非激光用户反馈的广泛意见进行
s9001200认可并经第三方定期审核。产品开发按设计,既突破了当前系统极限,又能预期未来设计要
严格的内部操作规程和指导原则执行,每一个阶段都求。Ⅺ80的设计能够随用户未来需求的变化而更新和
经过全面的检查和审核。
发展。
Renishaw激光系统性能已经过英国“国家物理实
验室(NPL)和德国标准计量组织(PTB)的独立
崄证
NPLO
National Phial Latuntorr
PB
制造
Renishaw是一家可在自己的工厂中生产几乎听有组
件和配件的大型公司
拥有大量现代化的机械加工厂、表面处理和软件部
门。甚至还拥有完整的印刷电路板设计、制造和测试设
备
内部制造和设计使 Renishaw能够完全理解并控制设
计和制造过程,而将这些工作外包的供应商则缺乏此等
伉势。
全面信心
测试和认证
Callbration certiticate
M
alibration notes
所有Ⅺ-80及XC80系统(包括传感器)均随箱提
供内容全面的校准证书,包括以表格和图形两种格式
显示测试数据以及详尽的校准标准和国际标准溯源性
纪录
激光和传感器为单独认证,因此组件可以互换使
用,而不影响精度。
支持
Renishaw销售工程师素以售前和售后支持服务质
量而闻名。我们知道购买一套激光系统是您和贵公司
质量保证
的一项重大投资。如果您有任何问题请尽管提出,我
们没有什么可隐瞒,而且我们希望您可清楚选择一个
全面的“内部”制造和多年的经验使 Renishaw有
能够解决问题的正确方案
信心提供标准为3年的系统保修。并以优惠价格延长保
修期至5年(请查询详细信息)
为不断地确保性能, Renishaw公司内部可以为现
有组件和系统提供完整的重新校准服务。
此外,各国标准实验室也可提供第三方校准服务,包
括NPL、PTB和NM(中国)
球杆仪和激光干涉仪成就最大利益
Renishaw球杆仪系统是世界公认的快速检测机床
由于认识到这一点,我们
的理想解决方案,非常适合在两次定期激光校准之间
将Ⅺ系统便携箱设计为可容
进行机器检测。
纳一个外加Qc10的内置盒
抗行
可另将所有标准QC10组件固定。
激光校准和
本功测试以球杆仪
误差补偿
测试为基本测试
这使系统成为真正便携的
检测和校准″系统,其他系统
维修机器并用
定期用球杆仪
均无法可比
激光干涉仪
进行检查
重新校准
通过诊断
分析查明
故障部位
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
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