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文件名称: 新松洁净自动化产业样本.pdf
  所属分类: 其它
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  上传时间: 2019-10-11
  提 供 者: weixin_********
 详细说明：新松洁净自动化产业样本pdf,提供“新松洁净自动化产业样本”免费资料下载，主要包括洁净自动化装备产业、真空机械手、大气机械手、洁净物流自动传输系统等内容，可供学习使用。新/洁净自动化 Clean Room automation Clean room automation industr 净自动化装备产业 洁净自动化技术及装备是新松公司的新兴主导产业之一。公司的洁净自动化产品主要有 大气机械手、真空机械手、预对准装置( Aligner)、自动提升装置、SM|F(FOUP)及 洁净自动化产业 EFEM接口设备;垂直关节型及水平关节型基板(FPD)搬运机器人、洁净镀膜机椃手、洁净 擻运机槭手、洁净AG∨、R∨及洁净物流自动传输系统等。主要应用领域有C装备、平板 C装备 显示、电子、生物制药和食品等行业,能够为客户提供完整的技术解决方案和交钥匙工程 完全拥有自主知识产权和核心技术,技术水平国内领先,达到国际先进水平。 Clean room automation technology and equipment is one of the main new rising industries of SIASUN. The 大气机械手系列产品真空机械手系列产品 设备前端模块自动化物料输送系统 clean room automation products include AIM robot, vacuum robot, Aligner, automatic lifting device. ATM) (Vacuum Robot) EFEM (AMHS SMIF (FOUP), EFEM, large and small FPD glass handling robot, clean room coating robot, clean room handling robot, clean room AGv, RGvs and clean room logistics automation transportation equipment, etc. The main application fields include IC equipment, FPD, electronics, pharmacy, food and so on. With 平板显示 Flat Panel Display elf-owned intellectual property nights and key technology, sIASUN can provide complete robot technical solution and turnkey engineering. Its technological skil s are leading in national industry and have reached internationdl ad FPD基板洁净搬运机器人系列产品 洁净AGV/RGV 洁净物流自动化输送系统 Large FPD Glass Handling Clean Robot) Cleanroom AGV/RGV (Cleanroom logistics automation system 其他行业 国家机器人产业化基地 Other Industry National robot industrialization base 超薄玻璃、电子、食品、医 洁净环境搬运机器入生产线 洁净环境镀膜机器人生产线洁净机器人码垛包装生产线 coating (palletizing) 我们能提供什么 We can provide 标准化产品 d prod 客户定制产品 Custom-tailored product 传统生产线改造 Traditional production line rebuilding 成套系统解决方案 Whole system solution 产品咨询与技术支持 Product consultation and technology support 完善的售后服务 After service 03超题期( Beyond Expectation 起当 B'eycnd Expectation 新/洁净自动化 Clean room automation 真空机械手 Vacuum robot 20年机器人技术及工程经验积累,5年产品攻关及測试:新松公司已经开发出多种真空及大气 机械手系列产品。产品系列覆盖高中低各种应用需求,以根据客户耍求进行定制。 我们的特色 机器人国家工程研究中心,机器人技术积累雄厚 真空机械手 测试中的真空机械手 产品系列全,构型多样,能够满足不同应用需求 SRBZI065A-DDFX Vacuum Rabot Under Testing 模块化设计,能够根掴您的特殊要求进行定制 性价比高,本土化服务 真空机械手SRBZ1065 A-DDFX Vacuum Robot SRBZ1065A-DDFX 直接驱动,永磁术,耐真空度高,适会PVD等 Direct drve and permanent magnet technology.Hg With 20 years of accumulated experience in robot technology and engineering and 5 years of clean room 高端应用需求。 performance. Suitable for PvD and oTher advanced ap bot research and testing SlASUN hos developed a variety of vacuum and atmospheric robot products 耐真空度:10F Base vac um: Product series cover a variety of aifferent appli cation needs. This vacuum Robot applied the Direct Drive 真空漏率:<10 std co/ecHe eak rate: <10-> stc cc/sec He Technology, Servo Driven and Ferofluidics technology Because of the modulized design, we can provide the 取放片重复定位精度:±01mm placement repeatability 驱动形式:直接驱功具有碰撞保护功能 Drive. direct drive, collision protection function stom-toilored service Our features. 负载能力:1kg 最大工作半径:R1050mm《可定制 Work range: R1050mm, customize As the National Engineering Research Center on Robotics, we have rich accumulated robotics technology 最小回转半径:R435mm Minimum rotation rodius: R43.mm x: Complete production series and variety of contiguration can fulfill different application needs Modularized design, Custom-tailored to your specific requirements s Excellent cost performance ratio and local service 论,的的,全国首批91家创新型企业 The first batch of 9 national Innovation-Oriented Enterprises 真空机械于 测试中的真空机械于 RBZ1050A-DMFX acuum Robot Under Testing 真空机械手SRBZ1050A-DMFX Vacuum Robot SRBZ1050A-DMFX ! 呓流体密封:伺服驱动,性价比高,适合 Ferrofluidic sealed,Serl yo driven. Excel ent ccst performance ratio. PECVD等应用需求 Suitable for PECVD ard otner applications. 真空漏率 取放片重复定位精度:±01mm Placement repeatability: +0.1mm 驱动形式:伺服驱动具有碰擁保护功能 Drive: servo riven. collision protection funct 负载能力:kg Payload:lkg 最大工作半径 可定御 最小回转半径:435mm Minimum rotation rodius: R435mm 05超期望 Bayod Expection 超趕期望 yono E彫p6lin 新极洁净自动化 Clean room automation 真空机械手 预对准装置 Vacuum robot Aligner 预对准装置是半导体生产线或检测线上用来对准晶圆的装置。本预 对准装置基于偏心量和缺口角庋两种参数,采用伺服驱动,具有高速 度、高精度、工作模式可选的特点 Aligner is designed for aligning wafer in the production line or inspection line of emiconductor. Based on the parameter of eccentric ty and notch angle applied the servo driven technology this aligner performs highly-spe 真空机械于 真空机械王 highly-accuracy with optical mode SRBZ1000A-SMFX 真空机械手SRBZ1000A-SMFX Vacuum robot SRBzlO00A-SMFX 磁体密封,伺驱动,性价比高,适合 ofljiciic seced, Servo driven, Excellent cost performan PFvD等应用需求 Suilclble f!! PECvD tindi os her opplicaliorIs 耐宾空度:104Pa-10P 真空漏率:<10sd.cc/ scc HC 取放片复定位精:±0.mm Pocement repeatablity±almm 驱动形式:伺服驱动具有碰撞保扩功能 Drive: servc driven, collision prole clion funcion 景大工作半径:R1000mm〔可x制) work ronge: R100Grrm,custom/H Minimum rotaion radius: R475mm SCARA结构的真空机械手,伸缩比大,在同 等工作范围下,占用更小的空间。本产品采用 伺服驱动及醚流体密封技术,模块化设计,可 以根据客户耍求进行定制 The SCARA stype vacuum robot occupy smaller room with the same work range. This vacuM app.I the Servo Driven and Ferrofuidics technology Becc 真空机械手 custom-tgi ored service SRBZ875A-SMSX 真空机械手 Vacuum Robot 为您提供洁净自动装备一体化解决方案 SRBZ075A-SMSXI SREZ8DCA-SMA5XI SR5Z510A-SMSX SRBZ875A-SMSX Complete Clean Room Automation Solution for customers 磁流体密封,何服驱动,性价比高,适合 Ferrofluidic sealed, Servo driven, Execellent cost peformance rio, suitable for FECVD and other appication Bose Vacuum: 10. Pc-10- Pa ak rate: cI0'std. cc/sec 预对准装置 Aligner 放片复宁位清度:+0.1mM 电压 Power ∠vDC 照动形式坷膨取动冇碰保拍功能 Drive:servo driven Collision protection functicn 白山度( Dogroo of frodo) aloud cMrr. 20arrirt . OkaL 1.6
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