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上传时间: 2013-04-12
详细说明：MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，
微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信
号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型
器件或系统。而MOEMS 是Micro-Opto-Electro-
Mechanical System的缩写，意为微光机电系统，
把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通
信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一
个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用
将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学
及光学传感等多个方面。
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