文件名称:
非球面元件面形检测方法、装置、设备及可读存储介质.pdf
开发工具:
文件大小: 701kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-06-09
详细说明：发明专利说明书。本发明实施例公开了一种非球面元件面形
检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。其
中，方法包括将待测非球面元件的子孔径检测数
据输入至预先利用样本数据集训练深度学习网
络模型得到的面形分布计算模型中，得到各子孔
径的相对位置和重叠区域
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