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文件名称: 集成电路及微机械加工技术
  所属分类: 专业指导
  开发工具:
  文件大小: 1mb
  下载次数: 0
  上传时间: 2011-03-01
  提 供 者: sdn****
 详细说明:关于集成电路的内容,一、 概论 二、 工艺流程实例(图解) 三、 基本单项工艺技术 1、 扩散-掺杂 2、 离子注入-掺杂 3、 氧化-薄膜生长 4、 CVD-薄膜生长 7、 金属化(PVD)-薄膜,互连 5、 光刻-图形转移 6、 刻蚀-形成图形 8、 清洗 四、工艺集成开发
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)

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