文件名称:
国内射频电源要想跟上国际脚步，还要深耕
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文件大小: 37kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-08-19
详细说明：目前国内先进的等离子体设备使用的射频电源，其主要技术性能（如输出功率、频率，阻抗匹配网络等）已和国外同类电源基本一致，但在自动化程度上，体积上以及应用领域方面还有一定的差距。因此，要跟上国际水平，还要开展以下一些工作。
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