文件名称:
集成电路制造技术——原理与工艺---第五章扩散
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上传时间: 2020-08-24
详细说明：集成电路制造技术——原理与工艺---第五章扩散
5.1扩散机构
5.2晶体中扩散的基本特点与宏观动力学方程
5.3杂质的扩散掺杂
5.4热扩散工艺中影响杂质分布的其它因素
5.5扩散工艺条件与方法
5.6 扩散工艺质量与检测
5.7 扩散工艺的发展
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