文件名称:
基于PDMS的MEMS柔性天线的设计及制作
开发工具:
文件大小: 456kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-10-15
详细说明：设计了一种小型超宽带共面波导（CPW）馈电的MEMS单极子柔性天线，具有结构简单、质轻、易集成、可柔性弯曲的特点。该天线采用了具有高柔弹性和良好的自我恢复性的PDMS材料为介质基板，在柔性基板一侧设计了圆盘状的金属辐射结构，采用了CPW结构与天线集成于基板同一侧。实验中，验证了氧等离子刻蚀与SDS联合处理的方式能有效改善光刻胶与PDMS表面的粘附效果，并分别基于AZ6130胶、RZJ304胶、AZ5214E胶在PDMS柔性基底上利用金属剥离工艺制作了该CPW馈电的MEMS单极子柔性天线，对比了基于不同光刻胶制作的天线性能及剥离制作难度。该天线的频带为 3.3 GHz～5.0 GHz，阻抗匹配良好，辐射方向性稳定，可适用于5G通信系统，亦为柔性天线的研究提供了参考。
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