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传感技术中的MEMS传感器概念、分类等基础知识详解
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上传时间: 2020-10-15
详细说明：关于MEMS传感器的基础知识，你了解多少？本文将从MEMS传感器的概念、制造及工艺、MEMS传感器与传统传感器的区别、MEMS传感器的分类几大部分详解，帮助初识MEMS传感器的读者快速了解这一重要器件。
传感器发展到今天，小型化、智能化、集成化，已经是升级换代的必由之路。今天，我们来为大家介绍一下传感器家族的mini型产品——MEMS传感器。
什么是MEMS传感器？
MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接
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