文件名称:
DSP中的以Actel混合信号Fusion为基础的无线扩散炉温度自动监控系统
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文件大小: 232kb
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上传时间: 2020-10-23
详细说明：西安邮电学院于2006年引进一条闲置集成电路生产前端工艺线（14台工艺设备），建立了集成电路工艺实验室，为微电子学、集成电路设计、系统集成以及电子信息类相关专业学生提供集成电路工艺生产实习及实践环境。在这14台工艺设备中，有高温双管扩散炉L4513Ⅱ-12/ZM 3台，主要供学生进行半导体工艺中扩散工艺的相关实验。设备的温控部分为模拟控制，其精度低、工作稳定性及可靠性差、能耗大，操作复杂。
设计目标是对双管扩散炉温控部分进行改造，实现数字式自动控制，以提高炉温控制的精度，提高工艺生产线样片的成品率，同时降低能耗。系统的硬件控84部分包括Actel公司的fusion开发板，温度采集电路板，键
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