文件名称:
有机械耦合的电容式硅微陀螺敏感信号读取
开发工具:
文件大小: 182kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-10-20
详细说明：硅微机械传感器是用半导体硅加工工艺实现的传感器。体积小使其获得广泛的应用前景。但是由于体积小，微小的绝对机械误差却产生较大的相对误差，带来运动交互干扰，即机械耦合问题。电容式硅微机械陀螺是用于测量转动角速度的传感器。由力学原理可知，由刚体转动（角速度ωe）和平动（线速度vr），可产生一正交的加速度（科利奥里加速度，科氏加速度ac）。
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