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基础电子中的天线效应的产生机理及消除方法
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上传时间: 2020-10-20
详细说明：导读：随着工艺技术的发展，栅的尺寸越来越小，金属的层数越来越多，发生天线效应的可能性就越大。而天线效应则会对小型技术领域产生非常大的影响，因为泄电所带来的损害很可能波及整个栅极。因此，本文对天线效应的产生机理及消除天线效应的方法做出了讨论。
1.天线效应简单介绍
天线效应或等离子导致栅氧损伤是指：在MOS集成电路生产过程中，一种可潜在影响产品产量和可靠性的效应。
在芯片生产过程中，暴露的金属线或者多晶硅（polysilicon）等导体，就象是一根根天线，会收集电荷（如等离子刻蚀产生的带电粒子）导致电位升高。天线越长，收集的电荷也就越多，电压就越高。若这片导体碰巧只接了MOS
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