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上传时间: 2020-10-17
详细说明：微纳机电开关是指特征尺寸在微米或纳米量级内的机械开关，是一个新兴的技术领域，具有体积小、速度快、零泄漏等优势，成为近年来的研究热点。首先介绍了微纳机电开关在射频器件和逻辑电路中的应用，并概述了其分类方式及各自特点。同时系统综述了微纳机电开关的研究现状，包括在尺寸、阈值电压、稳定性、材料等方面取得的突破。最后，论述了微纳机电开关的发展趋势，阐述了其面临的问题和发展障碍，如微纳尺寸下的表面粘附效应、现有工艺技术的实现等。
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