文件名称:
激光微加工系统及基于DSP+FPGA的控制单元的研究
开发工具:
文件大小: 221kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-10-26
详细说明:针对纳秒脉冲激光微加工系统的发展,提出了一种集成图形文件解析和高速运动控制的加工系统,包括控制单元、激光器、机械结构和光路系统。在介绍了各个部分的功能之后,重点分析了控制单元,包括上位机图形解析平台及以DSP和FPGA为核心的下位机控制硬件。通过实验分析和算法优化,解决了加工误差,在单晶硅表面得到了较好的微结构加工效果。
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