文件名称:
贝加莱PCC及ACOPOS伺服在刻蚀线上的应用
开发工具:
文件大小: 349kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-10-23
详细说明：系统为普通糟孔荫罩刻蚀线，主要包括开卷部分、刻蚀腔体部分、第一水洗部分、电解剥离部分、最终水洗部分和最后的烘干及撕边部分。表面有光致抗刻蚀剂的成卷钢带，在开卷部分被拉开，并送人刻蚀腔体。腔体刻蚀液为FeC13,与钢带的无光抗部分反应，形成槽孔。
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