文件名称:
模拟技术中的模拟电路的设计特征之统计方法
开发工具:
文件大小: 309kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-11-04
详细说明：引言
半导体器件及电路的性能会因为工艺本身固有的基本统计性变异 (statistical variation)而发生波动。
如图1所示，所有的变异形式可划分为好几大类，相应反映出工艺加工期间材料的物理分离。
批次变异是最常见的变异，因为它反映出了其它成因里所没有的重要变异源，包括某个工艺步骤中因采用不同工具而可能带来的差异；原始材料在批次之间的差异；以及与工具老化、定期维修、升级和调试有关的基于时间的趋势及周期性差异。
晶圆间变异可能源于个别晶圆处理步骤中晶圆之间出现的轻微差异，也可能是跨越整批晶圆、由工艺因素 (比如炉管内部的温度和气流梯度) 造成的梯度差异。裸片
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
