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上传时间: 2020-11-02
详细说明：完全分析所有材料和器件需要进行精密直流、交流阻抗以及超快I-V或脉冲I-V测量。将测试设备连接到半自动或手动探测台的复杂性会使晶圆上的准确测量变得更为复杂。本文分析了直流、多频电容、超快I-V和脉冲测试以及正确接地和屏蔽的重要性，为特定测量选择正确的互连方式，并排除常见的互连故障。
直流测量的电缆连接
了解预计的测量电平可以轻松地*估潜在误差源。为简单起见，我们假定所有被测信号既不是高电压（高于100V）也不是大电流（高于200mA）信号，误差源也分为3类：漏电流、静电干扰和力学作用。
漏电流
漏电流是有用信号传输通道之外的电流，例如流过互连绝缘体的电流。当DUT的阻抗
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