文件名称:
显示/光电技术中的显微工作台重复精度的测量
开发工具:
文件大小: 34kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-11-13
详细说明：用百分表（精度为0.01 mm）对工作台两个方向的重复定位精度进行了测试。首先将工作台某一位置进行零点标定，并向一个方向给出一定步数的脉冲，然后再返回相同的步数，记录与零点的偏差，重复进行10次，计算这一步数的重复定位误差。在X轴方向取1.4 mm（35步），2.8 mm（70步）和4.8 mm（120步），在y轴方向取1.2 mm（30步），2.4 mm（60步）和4.0 mm（100步）。计算结果是：在x方向上的标准偏差分别为σ1＝0.018 mm，σ2＝0.025 mm和σ3＝0.032 mm，平均标准偏差σX＝0.025 mm；在y方向上的标准偏差分别为σ1＝0.009 mm，σ2＝0
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