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传感技术中的基于DSP的数字式MEMS加速度传感器的设计与应用
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上传时间: 2020-11-10
详细说明：引言
加速度传感器一直是振动测试中的重要元件。ADXL203加速度计是美国模拟器件（ADI）公司的新型单芯片双轴传感器，测量范围是±1.7g.可以承受3500g振动冲击。相对于传统的加速度计，他的成本比较低，性能好，功耗低。此外，该加速度计可以同时测量两个垂直方向的加速度，适用于静态和动态的加速度测量。
测量原理
ADXL203采用先进的MEMS技术，由一个利用表面微机械加工的多晶体硅机构和一个差动电容器组成。在加速度的作用下，多晶体硅结构会产生偏移，于是就会拉动电容的运动极板滑动是电容值发生变化，最终导致输出方波的变化，利用这个原理，就可以通过查动电容检测到加速度的变化，加
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