文件名称:
嵌入式系统/ARM技术中的基于嵌入式Linux的晶体生长控径系统的研究
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文件大小: 183kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-11-09
详细说明：1 引言
随着单晶硅片制造向大直径化发展，直拉法单晶硅生长技术在单晶硅制造中逐渐显出其主导地位。为使结晶过程更加稳定和实用有效，则需提高对工艺参数的控制精度，基于CCD摄像扫描识别技术的单晶硅等径生长速度控制技术得到业界的重视。
基于ARM的单晶硅测径系统具有巨大的市场潜力。因此，这里研究了单晶硅测径系统的图像采集、处理及显示。
2 整体方案设计
系统上电后，CCD摄像头拍摄单晶炉炉膛内晶体硅棒生长区域图像，并传送至嵌入式系统，通过观察在VGA接口显示器上显示的图像清晰度来对摄像头调焦。图像经数字图像处理程序处理，计算出单晶硅棒的瞬时直径。系统把直径的数字量送至D／A转
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